Presentaion at conference, meeting, etc. - Satoru Kawaguchi

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  1. Simulation of Capacitively-coupled RF Plasmas in Tetrametylsilane for Diamond-Like Carbon Coating

    小田 昭紀, 川口 悟, 佐藤 孝紀, 上坂 裕之, 太田 貴之，第75回応用物理学会秋季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2014.09，北海道・札幌，Japan

  2. Estimation of Electron Collision Cross Sections for TMS vapour

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第61回応用物理学会春季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2014.03，神奈川県・相模原，Japan

  3. Electron collision cross sections in H2O, CF3I, CHF3 and SiF4

    佐藤 孝紀, 川口 悟, 三田 隆義，平成26年電気学会全国大会，電気学会，平成26年電気学会全国大会講演論文集，2014.03，愛媛県・松山，Japan

  4. A set of electron collision cross sections for CHF3

    Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hidenori Itoh，8th International Conference on Reactive Plasmas / 31st Symposium on Plasma Processing，Abstract，2014.02，Fukuoka，Japan

  5. Studies on weakly ionized gas plasma (CXVI) Estimation of electron collision cross sections in SiF4 using electron swarm method

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成25年度 電気・情報関係学会北海道支部連合大会，平成25年度 電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集，2013.10，北海道・室蘭，Japan

  6. Estimation of Electron Collision Cross Sections in CHF3

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会，電気学会，平成25年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集，2013.09，神奈川県・横浜，Japan

  7. Estimation of Electron Collision Cross Sections in SiF4

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第74回応用物理学会秋季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2013.09，京都府・京田辺，Japan

  8. Electron Collision Cross Sections and electron transport in CF3I

    Kohki Satoh, Satoru Kawaguchi, Hidenori Itoh，XVII International Workshop on Low-Energy Position and Positronium Physics & XVIII International Symposium on Electron-Molecule Collisions and Swarms，Abstract，2013.07，Kanazawa，Japan

  9. Estimation of Electron Collision Cross Sections in CF3I

    Kohki Satoh, Satoru Kawaguchi, Hidenori Itoh，Japan-Australia Commemorative Workshop (JAWS25)，Abstract，2013.06，Canberra，Australia

  10. Estimating the Set of Electron Collision Cross Section for CF3I

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第60回応用物理学会春季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2013.03，神奈川県・厚木，Japan

  11. Estimation of Electron Collision Cross Section for CF3I

    川口 悟, 李 偉娜, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第30回プラズマプロセシング研究会，講演予稿集，2013.01，静岡県・浜松，Japan

  12. Studies on weakly ionized gas plasma (CVII) Estimation of electron collision cross section of CF3I using electron swarm method

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成24年度 電気・情報関係学会北海道支部連合大会，平成24年度 電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集，2012.10，北海道・札幌，Japan

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