Presentaion at conference, meeting, etc. - Satoru Kawaguchi

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  1. Electron collision cross section set of SiF4 gas

    Satoru Kawaguchi, Kazuhiro Takahashi, Kohki Satoh, Hidenori Itoh，38th International Symposium on Dry Process，Abstract，2016.11，Sapporo，Japan

  2. Studies on weakly ionized gas plasma (CXXXI) Estimation of electron collision cross section set for C3F8 gas by the electron swarm method

    河原 翼, 髙橋 一弘, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成28年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会，平成28年度 電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集，(p.208-209)，2016.11，北海道・札幌，Japan

  3. Studies on weakly ionized gas plasma (CXXXIII) Measurement of electron transport coefficients using double-shutter drift tube

    山口 大地, 川口 悟, 髙橋 一弘, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成28年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会，平成28年度 電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集，(p.212-213)，2016.11，北海道・札幌，Japan

  4. Studies on weakly ionized gas plasma (CXXXII) Electron transport analysis in C2F4 gas

    川口 悟, 髙橋 一弘, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成28年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会，平成28年度 電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集，(p.210-211)，2016.11，北海道・札幌，Japan

  5. Electron collision cross sections of c-C4F8

    Satoru Kawaguchi, Kazuhiro Takahashi, Kohki Satoh, Hidenori Itoh，21st International Conference on Gas Discharges and Their Applications，Abstract，2016.09，Nagoya，Japan

  6. Electron transport analysis in TMS and TEOS vapours

    川口 悟, 髙橋 一弘, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成28年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会，電気学会，平成28年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会講演論文集，(p.243-248)，2016.09，福岡県・北九州，Japan

  7. A PIC-MCS plasma model created on COMSOL Multiphysics

    鈴木 歩太, 川口 悟, 松隈 正明, 伝宝 一樹，第77回応用物理学会秋季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2016.09，新潟県・新潟，Japan

  8. c-C4F8ガスの電子衝突断面積セットの評価

    廣澤 憲麻, 川口 悟, 佐藤 孝紀，2016年度 精密工学会 北海道支部 学術講演会，精密工学会，講演論文集，2016.08，北海道・旭川，Japan

  9. The set of electron collision cross sections for c-C4F8

    川口 悟, 髙橋 一弘, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第63回応用物理学会春季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2016.03，東京都・東京，Japan

  10. Studies on weakly ionized gas plasma (CXXVII) Electron transport analysis in TEOS vapour

    川口 悟, 髙橋 一弘, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成27年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会，平成27年度 電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集，(p.109)，2015.11，北海道・北見，Japan

  11. Examination of electron collision cross sections for water vapour

    Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hidenori Itoh，9th International Conference on Reactive Plasmas / 68th Gaseous Electronics Conference / 33rd Symposium on Plasma Processing，Abstract，2015.10，Honolulu，United States

  12. Electron collision cross sections of TEOS vapour

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第76回応用物理学会秋季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2015.09，愛知県・名古屋，Japan

  13. Examining and Estimating Collision Cross Section Set of H2O Vapour for Reliable Plasma Simulation

    Kohki Satoh, Satoru Kawaguchi, Hidenori Itoh，2nd Japan - Taiwan Workshop on Plasma Life Science and Technology，Abstract，2015.07，Sendai，Japan

  14. Numerical Analysis on Capacitively-Coupled RF Tetrametylsilane Plasmas for Si-Containing DLC Film Coating

    Akinori Oda, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta，7th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science，Abstract，2015.03，Nagoya，Japan

  15. Accurate electron collision cross sections and transport coefficients for reliable plasma simulation

    Kohki Satoh, Satoru Kawaguchi，7th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science，Abstract，2015.03，Nagoya，Japan

  16. Transport properties of electron swarm in H2O vapour

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第62回応用物理学会春季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2015.03，神奈川県・平塚，Japan

  17. Numerical Simulation on Spatiotemporal Behavior of Charged-Species in Tetrametylsilane Plasmas for Diamond-Like Carbon Coating

    小田 昭紀, 川口 悟, 佐藤 孝紀, 上坂 裕之, 太田 貴之，Plasma Conference 2014，日本物理学会, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, プラズマ・核融合学会，オンライン予稿集，2014.11，新潟県・新潟，Japan

  18. The evaluation and estimation of electron collision cross section set

    佐藤 孝紀, 川口 悟，Plasma Conference 2014，日本物理学会, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, プラズマ・核融合学会，オンライン予稿集，2014.11，新潟県・新潟，Japan

  19. Studies on weakly ionized gas plasma (CXXI) The influence of anisotropic scattering on electron swarm behaviour in H2O vapour

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成26年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会，平成26年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集，2014.10，北海道・札幌，Japan

  20. Estimation of Electron Collision Cross Sections in H 2 O vapour

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第75回応用物理学会秋季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2014.09，北海道・札幌，Japan

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