学会等発表 - 川口　悟

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  1. 弱電離気体プラズマの解析(CXXXIII) 二重シャッタードリフト装置による電子輸送係数の測定

    山口 大地, 川口 悟, 髙橋 一弘, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成28年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会，平成28年度 電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集，(頁 212-213)，2016年11月，北海道・札幌，日本国

  2. 弱電離気体プラズマの解析(CXXXII) C2F4ガス中の電子輸送解析

    川口 悟, 髙橋 一弘, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成28年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会，平成28年度 電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集，(頁 210-211)，2016年11月，北海道・札幌，日本国

  3. Electron collision cross sections of c-C4F8

    Satoru Kawaguchi, Kazuhiro Takahashi, Kohki Satoh, Hidenori Itoh，21st International Conference on Gas Discharges and Their Applications，Abstract，2016年09月，Nagoya，日本国

  4. TMS vapourおよびTEOS vapour中の電子輸送解析

    川口 悟, 髙橋 一弘, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成28年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会，電気学会，平成28年 電気学会 基礎・材料・共通部門大会講演論文集，(頁 243-248)，2016年09月，福岡県・北九州，日本国

  5. A PIC-MCS plasma model created on COMSOL Multiphysics

    鈴木 歩太, 川口 悟, 松隈 正明, 伝宝 一樹，第77回応用物理学会秋季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2016年09月，新潟県・新潟，日本国

  6. c-C4F8ガスの電子衝突断面積セットの評価

    廣澤 憲麻, 川口 悟, 佐藤 孝紀，2016年度 精密工学会 北海道支部 学術講演会，精密工学会，講演論文集，2016年08月，北海道・旭川，日本国

  7. c-C4F8ガスの電子衝突断面積

    川口 悟, 髙橋 一弘, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第63回応用物理学会春季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2016年03月，東京都・東京，日本国

  8. 弱電離気体プラズマの解析(CXXVII) TEOS vapour中の電子輸送解析

    川口 悟, 髙橋 一弘, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成27年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会，平成27年度 電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集，(頁 109)，2015年11月，北海道・北見，日本国

  9. Examination of electron collision cross sections for water vapour

    Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hidenori Itoh，9th International Conference on Reactive Plasmas / 68th Gaseous Electronics Conference / 33rd Symposium on Plasma Processing，Abstract，2015年10月，Honolulu，アメリカ合衆国

  10. TEOS vapourの電子衝突断面積

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第76回応用物理学会秋季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2015年09月，愛知県・名古屋，日本国

  11. Examining and Estimating Collision Cross Section Set of H2O Vapour for Reliable Plasma Simulation

    Kohki Satoh, Satoru Kawaguchi, Hidenori Itoh，2nd Japan - Taiwan Workshop on Plasma Life Science and Technology，Abstract，2015年07月，Sendai，日本国

  12. Numerical Analysis on Capacitively-Coupled RF Tetrametylsilane Plasmas for Si-Containing DLC Film Coating

    Akinori Oda, Satoru Kawaguchi, Kohki Satoh, Hiroyuki Kousaka, Takayuki Ohta，7th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science，Abstract，2015年03月，Nagoya，日本国

  13. Accurate electron collision cross sections and transport coefficients for reliable plasma simulation

    Kohki Satoh, Satoru Kawaguchi，7th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials / 8th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science，Abstract，2015年03月，Nagoya，日本国

  14. H2O vapour中の電子輸送特性

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第62回応用物理学会春季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2015年03月，神奈川県・平塚，日本国

  15. DLC成膜用テトラメチルシランプラズマの時間空間構造に関する計算機シミュレーション

    小田 昭紀, 川口 悟, 佐藤 孝紀, 上坂 裕之, 太田 貴之，Plasma Conference 2014，日本物理学会, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, プラズマ・核融合学会，オンライン予稿集，2014年11月，新潟県・新潟，日本国

  16. 電子衝突断面積セットの評価・推定

    佐藤 孝紀, 川口 悟，Plasma Conference 2014，日本物理学会, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, プラズマ・核融合学会，オンライン予稿集，2014年11月，新潟県・新潟，日本国

  17. 弱電離気体プラズマの解析(CXXI) H2O vapour中の電子輸送における非等方散乱の影響

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，平成26年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会，平成26年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会講演論文集，2014年10月，北海道・札幌，日本国

  18. H2O vapourの電子衝突断面積の推定

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第75回応用物理学会秋季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2014年09月，北海道・札幌，日本国

  19. DLC成膜用容量結合型高周波テトラメチルシランプラズマのシミュレーション

    小田 昭紀, 川口 悟, 佐藤 孝紀, 上坂 裕之, 太田 貴之，第75回応用物理学会秋季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2014年09月，北海道・札幌，日本国

  20. TMS蒸気の電子衝突断面積の推定

    川口 悟, 佐藤 孝紀, 伊藤 秀範，第61回応用物理学会春季学術講演会，応用物理学会，講演予稿集(web)，2014年03月，神奈川県・相模原，日本国

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