基本情報

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福田 永

フクダ ヒサシ


担当専攻 博士前期課程

情報電子工学系専攻

担当専攻 博士後期課程

工学専攻

担当学科

情報電子工学系学科

職名

教授

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ホームページURL

http://www.muroran-it.ac.jp

研究分野 【 表示 / 非表示

  •  

  • 電子工学

  • 電子工学

研究分野キーワード 【 表示 / 非表示

  • 半導体、デバイス、ナノテクノロジー

出身大学院・研究科等 【 表示 / 非表示

  • 東京都立大学・大学院

    1984年03月,博士後期,理学研究科,物理学専攻,単位取得満期退学

出身学校・専攻等 【 表示 / 非表示

  • 中央大学

    1979年03月,理工学部,物理学科,卒業

所属学会 【 表示 / 非表示

  • 応用物理学会、電子情報通信学会

学術賞 【 表示 / 非表示

  • 論文賞

    2015年10月03日,日本味と匂学会

  • 論文賞

    2017年11月10日,2nd international conference on communication and information systems (ICCCIS)

 

次世代半導体装置窶買Eェハサイズの拡大と素子の最小化に対応

ウェハサイズはさらに大きく、素子はさらに小さく

研究開発の目的

ウエハサイズを大きくしコスト削減を目指す

ウエハサイズを大きく製作することで生産効率がよくなり,コスト減が可能になる。素子の微細化ができれば,同じ面積でより多くの情報を処理できる。それに伴いウエハサイズの大口径化は必要不可欠。

研究開発の概要

生産性を考えた次世代の半導体装置の開発

デバイス(集積回路が入っている)の組立てるベースとなるウエハからの小さなチップを効率よく製作することが主眼としている。ウエハの面積を大きくできればコスト的にも安くなる。現在,直径30cmで製作しているが,さらにひと周り大きい40cmでの製作ができる装置の開発を行っている。また,ウエハ内の素子を小さくする技術でより多くの情報を処理できるデバイスが可能となる。そのウエハ内の素子のサイズは0.1ミクロン程度で,小さなチップの中にはその素子が10億個も入っている。

研究紹介

研究開発の特徴/利点

1.研究のポイント 2.研究の新規性
  • 表面波プラズマ発生装置を使ったナノレベルの微細加工が可能
  • 表面波プラズマ発生装置の開発によりウエハサイズの大口径化が可能
3.従来の技術に比べての優位性 4.特許関連の状況
  • 表面波プラズマ発生装置により,40cmの大きいウエハで薄い絶縁膜が形成可能
  • 特許出願済
 

著書 【 表示 / 非表示

  • 液相中への縦波放射を利用したレイリー型表面弾性波センサーの開発

    小川健吾、鳥越俊彦、澤田 研、岩佐達郎、永野宏治、柴山義行、夛田芳広、植杉克弘、福田 永,電気学会論文誌E,2015年12月

  • 縦波表面弾性波を用いた液相系センサーの動作特性

    小川健吾、山田真也、鳥越俊彦、澤田 研、岩佐達郎、杉山史一、夛田芳広、植杉克弘、福田 永,日本表面科学会,2014年06月

  • 匂い分子結合タンパク質Cp-LIp1のバレル内腔に存在するアミノ酸残基の匂い分子結合に関わる役割

    杉浦康裕、鳥井綾乃、杉本弘文、岩佐達郎、福田 永、澤田 研,日本味と匂学会誌,2013年12月

  • 表面物性工学ハンドブック第2版

    福田 永,丸善,センサー,2007年02月

  • 赤外線加熱工学ハンドブック

    福田 永、K.M.A. Salam、野村 滋,アグネ技術センター,急速熱処理を用いた高誘電体薄膜の形成,(頁 250),2003年11月

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論文 【 表示 / 非表示

  • Analysis of surface acoustic wave propagation velocity in biological function-oriented odor sensor

    Yuxia Yang, Koji Nagano, Chaoluomeng ,Tatsuo Iwasa, and Hisashi Fukuda,Journal of Sensors,2018巻,(頁 1 ~ 7),2018年03月

  • 液相中への縦波放射を利用したレイリー型表面弾性波センサーの開発

    小川健吾、鳥越俊彦、澤田研、岩佐達郎、永野宏治、柴山義行、夛田芳広、植杉克弘、福田永,135巻,12号,(頁 490 ~ 495),2015年12月

  • Metal-Organic Molecular Beam Epitaxy of GasNSe Films

    Y. Shimoyama, Y. Igarashi, S. Kimura, Y.Suzuki, Y. Tada, H. Fukuda and K. Uesugi,Japanese Jourmnal of Applied Physics,55巻,(頁 08NB1-4 ~ 08NB1-9),2015年03月

  • 赤腹イモリ嗅組織切片を用いた嗅神経細胞の匂い分子選択性の解析

    杉本弘文、梅田直之、福田永、岩佐達郎、澤田研,日本味と匂学会,21巻,3号,(頁 437 ~ 440),2014年12月

  • レイリー型表面弾性波を用いた液相系センサーの動作特性

    小川健吾、山田真也、鳥越俊彦、澤田研、岩佐達郎、杉山史一、夛田芳広、植杉克弘、福田永,日本表面科学会,35巻,6号,(頁 319 ~ 323),2014年03月

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国際会議Proceedings 【 表示 / 非表示

  • Theoretical analysis of surface acoustic wave propagation velocity in viscoelastic model for detetion of odorant molecules

    Y. Yang, Kouji Nagano, Tatsuo Iwasa, Hisashi Fukuda and Chaoluomeng,Joint Seminar on Environmental Science and Disaster Mitigation ,(頁 23 ~ 24),2018年03月,Muroran

  • Effect of Concentrationon on surface acoustic wave velocity in a Raylei-type biosensor

    Y. Yang, Kouji Nagano, Tatsuo Iwasa, Hisashi Fukuda and Chaoluomeng,2nd International conference on Communication and Information Systems,(頁 106 ~ 110),2017年11月

  • Analysis of surface acoustic wave propagation velocity of a SAW device usng Cp-Lip1 odorant binding protei and oorant molecules

    Y. Yang, Kouji Nagano, Tatsuo Iwasa, Hisashi Fukuda,Joint Seminar on Environmental Science and Disaster Mitigation ,(頁 21 ~ 22),2017年03月,Muroran

  • Propagation Verocity of Surface Acoustic wave in Biological Function-oriented Order Sensor

    Y. Yang, Kouji Nagano, Tatsuo Iwasa, Hisashi Fukuda,Joint Seminar on Environmental Science and Disaster Mitigation ,(頁 80 ~ 81),2016年03月,Muroran

  • Highly Sensitive Analysis of Glutathione S-transferse Reaction Liquid Phase using Acoustic wave Biosensors

    K.Ogawa,T.Abe,Y.Seino,T.Torigoe.T.Tada,K.Uesugi,H.Fukuda,K.Sawada.T.Iwasa,Meeting Abstracts of 7th Into. Conf. on Molecular Electronics ,(頁 231 ~ ),2013年12月

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論説・解説 【 表示 / 非表示

  • 赤外線加熱工学ハンドブック

    福田 永、Kazi Salam、野村 滋,(頁 127 ~ 137),2003年

学会等発表 【 表示 / 非表示

  • 生体機能指向型匂いセンサのためのSAWデバイスにおける弾性表面波の伝播速度の解析

    楊玉霞、永野宏治、岩佐達郎、福田永,計測自動制御学会北海道支部大会,計測自動制御学会,第49回計測自動制御学会北海道支部講演会B05,(頁 93-94),2017年02月23日,札幌市,日本

  • CYTOP薄膜を用いた有機無機積層絶縁膜型トランジスタメモリの開発

    山城啓太、夛田芳広、福田永,電気学会,第3分冊,2016年03月10日

  • アデノシン三リン酸(ATP)水溶液におけるレイリー型SAW溝流路液相センサーの動作特性

    小川健吾、山田真也、菅原智明、岩佐達郎、夛田芳広、福田永,第76回秋季応用物理学会講演会,応用物理学会,第3分冊,2015年09月26日

共同研究の実績 【 表示 / 非表示

  • 中小企業

    2017年06月15日,情報通信分野,400000(円)

  • 中小企業

    2016年05月31日,情報通信分野,500000(円)

  • 中小企業

    2015年04月01日,情報通信分野,500000(円)

  • 中小企業

    2014年04月01日,情報通信分野,500000(円)

  • 中小企業

    2013年04月01日,情報通信分野,800000(円)

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受託研究の実績 【 表示 / 非表示

  • 公益法人等

    2009年04月01日,ナノテクノロジー・材料分野,3500000(円)

  • 公益法人等

    2008年11月20日,ナノテクノロジー・材料分野,800000(円)

  • 公益法人等

    2008年07月14日,情報通信分野,5000000(円)

  • 公益法人等

    2007年12月10日,ナノテクノロジー・材料分野,2000000(円)

  • 公益法人等

    2006年09月01日,情報通信分野,2000000(円)

科学研究費助成事業 【 表示 / 非表示

  • 有機半導体メモリの作製と擬似ニューラル回路への応用

    2013年度 ~ 2015年度,基盤研究(C),25420310

  • 低温化学気相成長を用いた半導体ナノ結晶成長制御と学習デバイスへの応用に関する研究

    2005年度 ~ 2007年度,基盤C一般,17510107

特許・実用新案取得 【 表示 / 非表示

  • 表面弾性波センサおよび表面弾性波センサ装置

    日本,特願2013-220407,特開2015-81861,6284220

  • メタクリロキシ基もしくはアクリロキシ基を有するポリオルガノシルセスキオキサンを含む半導体絶縁膜用組成物

    日本,特願2010-156217,特開2012-009796

 

担当授業科目 【 表示 / 非表示

  • 半導体工学

    2018年度,学部

  • 半導体集積回路特論

    2017年度,博士前期課程

  • 半導体工学

    2016年度,学部

  • 半導体工学

    2016年度,学部

  • インター・サイエンスG

    2016年度,学部

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教材開発 【 表示 / 非表示

  • 極薄シリコン酸化膜の形成と界面評価技術

    1997年01月,福田 永、野村 滋, (頁 144),リアライズ社

  • 極薄

教育著書 【 表示 / 非表示

  • 非晶質シリカ材料ハンドブック

    2000年05月, (頁 621),リアライズ社

 

学会委員会 【 表示 / 非表示

  • 電子情報通信学会 ソサイエティ論文誌編集委員会

    2017年04月01日 ~ 2018年03月31日,論文査読,電子情報通信学会,全国

  • スーパー連携大学院コンソーシアム協力教員

    2017年04月01日 ~ 2018年03月31日,委員,スーパー連携大学院コンソーシアム,全国

  • 電子情報通信学会電子材料専門委員会

    2016年04月01日 ~ 2018年03月31日,委員,電子情報通信学会,全国

学協会役員 【 表示 / 非表示

  • スーパー連携大学院コンソーシアム

    2017年04月01日 ~ 2018年03月31日,全国,支部役員