Personnel Information

写真a

Fukuda Hisashi


The master's program in charge

Division of Information and Electronic Engineering

The doctoral program in charge

Division of Engineering

The department in charge

Department of Information and Electronic Engineering

Job title

Professor

E-mail Address

E-mail address

Research field 【 display / non-display

  • Semiconductor Device Engineering

  • Electronic Engineerig

  • Semiconductor Device Engineering

Keywords for Research Field 【 display / non-display

  • semiconductor,device,nanotechnology

Graduate school・Graduate course, etc. 【 display / non-display

  • Tokyo Metropolitan University

    1984.03,Doctoral program,Graduate School, Division of Natural Science,物理学専攻,Coursework completed without degree

Graduate school・major, etc. 【 display / non-display

  • Chuo University

    1979.03,Faculty of Science and Engineering,物理学科,Graduate

Academic Society 【 display / non-display

  • The Japan Society of Applied Physics, The Institute of Electronics, Information and Communication Enginners

Academic prize 【 display / non-display

  • 論文賞

    2015.10.03,日本味と匂学会

 

次世代半導体装置窶買Eェハサイズの拡大と素子の最小化に対応

ウェハサイズはさらに大きく、素子はさらに小さく

Purpose of Research

ウエハサイズを大きくしコスト削減を目指す

ウエハサイズを大きく製作することで生産効率がよくなり,コスト減が可能になる。素子の微細化ができれば,同じ面積でより多くの情報を処理できる。それに伴いウエハサイズの大口径化は必要不可欠。

Summary of Research

生産性を考えた次世代の半導体装置の開発

デバイス(集積回路が入っている)の組立てるベースとなるウエハからの小さなチップを効率よく製作することが主眼としている。ウエハの面積を大きくできればコスト的にも安くなる。現在,直径30cmで製作しているが,さらにひと周り大きい40cmでの製作ができる装置の開発を行っている。また,ウエハ内の素子を小さくする技術でより多くの情報を処理できるデバイスが可能となる。そのウエハ内の素子のサイズは0.1ミクロン程度で,小さなチップの中にはその素子が10億個も入っている。

Research Content

Features / Benefits of Research

1.Point of research 2.Research of novelty
  • 表面波プラズマ発生装置を使ったナノレベルの微細加工が可能
  • 表面波プラズマ発生装置の開発によりウエハサイズの大口径化が可能
3.Primacy of Technology 4.Situation of patent-related
  • 表面波プラズマ発生装置により,40cmの大きいウエハで薄い絶縁膜が形成可能
  • 特許出願済
 

Books 【 display / non-display

  • 液相中への縦波放射を利用したレイリー型表面弾性波センサーの開発

    小川健吾、鳥越俊彦、澤田 研、岩佐達郎、永野宏治、柴山義行、夛田芳広、植杉克弘、福田 永,電気学会論文誌E,2015.12

  • 縦波表面弾性波を用いた液相系センサーの動作特性

    小川健吾、山田真也、鳥越俊彦、澤田 研、岩佐達郎、杉山史一、夛田芳広、植杉克弘、福田 永,日本表面科学会,2014.06

  • 匂い分子結合タンパク質Cp-LIp1のバレル内腔に存在するアミノ酸残基の匂い分子結合に関わる役割

    杉浦康裕、鳥井綾乃、杉本弘文、岩佐達郎、福田 永、澤田 研,日本味と匂学会誌,2013.12

  • 表面物性工学ハンドブック第2版

    福田 永,丸善,センサー,2007.02

  • 赤外線加熱工学ハンドブック

    福田 永、K.M.A. Salam、野村 滋,アグネ技術センター,急速熱処理を用いた高誘電体薄膜の形成,(p.250),2003.11

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Papers 【 display / non-display

  • 液相中への縦波放射を利用したレイリー型表面弾性波センサーの開発

    小川健吾、鳥越俊彦、澤田研、岩佐達郎、永野宏治、柴山義行、夛田芳広、植杉克弘、福田永,vol.135,(12),(p.490 ~ 495),2015.12

  • Metal-Organic Molecular Beam Epitaxy of GasNSe Films

    Y. Shimoyama, Y. Igarashi, S. Kimura, Y.Suzuki, Y. Tada, H. Fukuda and K. Uesugi,Japanese Jourmnal of Applied Physics,vol.55,(p.08NB1-4 ~ 08NB1-9),2015.03

  • 赤腹イモリ嗅組織切片を用いた嗅神経細胞の匂い分子選択性の解析

    杉本弘文、梅田直之、福田永、岩佐達郎、澤田研,日本味と匂学会,vol.21,(3),(p.437 ~ 440),2014.12

  • レイリー型表面弾性波を用いた液相系センサーの動作特性

    小川健吾、山田真也、鳥越俊彦、澤田研、岩佐達郎、杉山史一、夛田芳広、植杉克弘、福田永,日本表面科学会,vol.35,(6),(p.319 ~ 323),2014.03

  • アカハライモリ嗅覚組織切片を用いた嗅神経の匂い分子選択制の解析

    杉本弘文、梅田直之、福田永、岩佐達郎、澤田研,vol.21,(3),(p.437 ~ 440),2014.03

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International conference proceedings 【 display / non-display

  • Propagation Verocity of Surface Acoustic wave in Biological Function-oriented Order Sensor

    Y. Yang, Kouji Nagano, Tatsuo Iwasa, Hisashi Fukuda,Seminar on Environmental Science and Disaster Mitigation ,(p.80 ~ 81),2016.03

  • Highly Sensitive Analysis of Glutathione S-transferse Reaction Liquid Phase using Acoustic wave Biosensors

    K.Ogawa,T.Abe,Y.Seino,T.Torigoe.T.Tada,K.Uesugi,H.Fukuda,K.Sawada.T.Iwasa,Meeting Abstracts of 7th Into. Conf. on Molecular Electronics ,(p.231 ~ ),2013.12

  • Novel Self-assemble Process of Ge Nanoparticles in SiO2Films

    H.Fukuda,K.Taleya,H.Maeda,R.A.Rahim,bstract of 4th Int. Symp. on Surface Science and Naotechnology,(p.253 ~ ),2005

  • Effects of Additive Elements on Electrical Properties of Ta2O5 Films

    K. M. A. Salam, H. Fukuda, S. Nomura,Meeting Abstracts of 1st Symposium on Point Defect snd Nonstoichiometry in Semiconductors,(p.65 ~ ),2003,Sendai

  • Gas Sensor Based on Poly-3-hexylthiophene TFTs

    M. Ise, T. Kogure, Y. Yamagishi, N. Takano, H. Fukuda,Abstracts of 7th International Conference on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures,(p.522 ~ ),2003,Nara

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Editorial and Commentary 【 display / non-display

  • 赤外線加熱工学ハンドブック

    福田 永、Kazi Salam、野村 滋,(p.127 ~ 137),2003

Presentaion at conference, meeting, etc. 【 display / non-display

  • 生体機能指向型匂いセンサのためのSAWデバイスにおける弾性表面波の伝播速度の解析

    楊玉霞、永野宏治、岩佐達郎、福田永,計測自動制御学会北海道支部大会,計測自動制御学会,第49回計測自動制御学会北海道支部講演会B05,(p.93-94),2017.02.23,札幌市,日本

  • CYTOP薄膜を用いた有機無機積層絶縁膜型トランジスタメモリの開発

    山城啓太、夛田芳広、福田永,電気学会,第3分冊,2016.03.10

  • アデノシン三リン酸(ATP)水溶液におけるレイリー型SAW溝流路液相センサーの動作特性

    小川健吾、山田真也、菅原智明、岩佐達郎、夛田芳広、福田永,第76回秋季応用物理学会講演会,応用物理学会,第3分冊,2015.09.26

Patent and utility model acquisition 【 display / non-display

  • 表面弾性波センサおよび表面弾性波センサ装置

    日本,特願2013-220407,特開2015-81861

  • メタクリロキシ基もしくはアクリロキシ基を有するポリオルガノシルセスキオキサンを含む半導体絶縁膜用組成物

    日本,特願2010-156217,特開2012-009796

 

Class subject in charge 【 display / non-display

  • 半導体集積回路特論

    2017,Master's program

  • 半導体工学

    2016,Department

  • 半導体工学

    2016,Department

  • インター・サイエンスG

    2016,Department

  • 半導体集積回路特論

    2016,Master's program

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Education book 【 display / non-display

  • 非晶質シリカ材料ハンドブック

    2000.05, (p.621),リアライズ社